目前，国内仅有一个厂商宣称拥有5纳米光刻设备，并计划于2021年投入生产。该厂商是中国创新投资集团旗下公司——华大智造。据华大智造介绍，其5纳米光刻机是基于先进的EUV技术，可实现高精度、大量生产的芯片制造，具备全球领先的性能和技术优势。

这一举措是中国在芯片领域上加强自主研发的重要举措，为推动国内半导体制造业发展注入了新的动力。