工业企业低效用地处理可以采取多种措施，如建立工业用地合理管理制度，提高管理责任意识；加强资源有效利用，通过多种形式的资源共享，提高资源的利用效率；进行企业土地出让及流转，把闲置的低效用地出让或流转给其他企业，以实现资源有效利用；对于符合改造条件的部分低效用地，也可以进行区域性改造，以扩大用地利用效率。