创元全站仪312R5补偿器可以通过以下步骤进行校正：

1. 打开补偿器界面，确认补偿器设置是否正确。

2. 确认补偿器设置后，进行温度系数校正。需要输入当地的气压值和温度值，仪器会自动计算出校正系数，并存储在补偿器中。

3. 如果补偿器出现故障，可以尝试进行自校验，仪器会自动识别补偿器是否正常。

4. 如果补偿器仍然无法正常工作，建议咨询仪器生产厂家，寻求专业维修服务。

注意，在进行任何操作之前，务必关闭全站仪电源并断开电池，以确保安全。